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在干ICP蚀刻之后，提升截头圆锥形纳米棒的(e)顶视图和(g)倾斜视图SEM图像。【前言】在IIIA族氮化物蓝色发光二极管出现后的二十年中，品质发光二极管经历了重大的研究进步。

然而，深圳束加干法蚀刻通常会在蚀刻面上产生缺陷，并降低器件的性能。

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